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中溫真空氣氛管式爐

2022-04-24
27366次
中溫真空氣氛管式爐
詳細介紹:

一.詳細介紹      ZKGSL—150—1 真空管式高溫爐以進口硅碳棒為發(fā)熱元件,額定溫度1400℃,采用S型單鉑銠熱電偶測溫和日本“島電”溫控儀自動控溫,具有較高的控溫精度(±1℃)。此外該爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作,大大提高了其使用范圍。該爐具有使用溫度高、高精度控溫、等優(yōu)點。爐管材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)耐高溫的剛玉管,專門設計用于精密機械零件熱處理、納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導電率測試、化工材料、陶瓷電容器氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)等。管式爐采用高鋁纖維制品隔熱、保溫,優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,日本進口單回路智能32段(40段)程序溫度控制儀控制,PID參數(shù)自整定,精確實現(xiàn)溫度的控制。設備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能環(huán)保、使用溫度高、壽命長、發(fā)熱件更換方便、操作簡單、維修方便等特點,是理想的科研設備,其性能達到國外同類產(chǎn)品的標準。  二.技術(shù)指標:設備型號:GSL—150—1最高溫度: 1400℃     工作溫度: 1350℃加熱區(qū)長度:300mm恒溫區(qū): 150 mm溫度均勻性: ±1℃爐管實際尺寸:  Φ50(外徑)×1000mm  (剛玉管)爐膛材料:  莫來石纖維制品控制溫區(qū)個數(shù):  1個,S分度熱偶控溫精度: ≦±1℃,單回路智能32段(40段)程序儀表控制,PID參數(shù)自整定加熱元件:  優(yōu)質(zhì)硅碳棒加熱最大加熱功率:  4Kw        空爐保溫功率:約2Kw建議升溫速率:   3℃~10℃/min輸入動力電源:  三相電源,50HZ ,380V±10%;6KW爐體表面溫升:  ≤60℃。尺寸: 550 x 380 x 520 mm凈重: 50 Kg保修期: 整機保修一年,相關(guān)耗材除外  三.標準配件: 

名稱 型號 數(shù)量
 硅碳棒 直棒4根
 不銹鋼密封系統(tǒng) 隨爐管尺寸配套 1套
S型單鉑銠熱電偶150mm1只
氧化鋁剛玉管  客戶可選φ40、φ50、φ60、φ70、φ100 1根
 管堵 隨爐管尺寸配套 4只
不銹鋼保護套 已安裝與爐體上 1套
 硅膠密封圈 隨爐管尺寸配套    6只
 耐溫手套
 1副

 四.密封結(jié)構(gòu) (見氣氛管式爐進出氣管口結(jié)構(gòu)圖) 五.可選配件 (一).真空泵1.產(chǎn)品型號:GZK-103D       該系統(tǒng)由前級無油泵,后級分子泵,真空傳感器和電子控制系統(tǒng)和LED液晶顯示組成,此系統(tǒng)是用來抽吸或壓縮空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體,以便在封閉容器中形成真空和壓力,吸入氣體中允許混有少量液體。它被廣泛用于機械、無油化工、制藥、食品、制糖工業(yè)及電子領(lǐng)域。由于在工作過程中,氣體的壓縮是等溫的,所以在壓縮和抽吸易燃、易爆氣體時,不易發(fā)生危險,所以其應用更加廣泛。        另外該系統(tǒng)采用德國產(chǎn)分子泵作為主工作泵,采用德國的機械泵作為分子泵前級泵,機械泵內(nèi)部已有有隔斷放氣裝置為非標準系統(tǒng),它主要由連接管道,110分子泵,機械泵構(gòu)成,通過標準配件連接,全部采用不銹鋼材料,全部電拋光處理。系統(tǒng)設計有預抽功能。2. 技術(shù)參數(shù):   泵體積流量N2:331/S                                                                           壓縮比:10:11                                                                                     最終壓力:≤4.5×10-5mbar                                                                       功率消耗:140W                                                                                  啟動時間:2min                                                                                         電源要求:90-132/185-265VAC                                                                  環(huán)境溫度:5-32℃                                                                              空氣相對濕度:≤85℃                                                                          工作電壓:220V±10%                                                                         功率:1KW                                                                                     系統(tǒng)極限真空度:1.0×10-3Pa3.                                                                  外型尺寸:800×600×600mm4.                                                           主要配置:機械泵(德國產(chǎn))                                                                      抽氣速率:4L/S                                                                     電極功率:400W                                                                           極限壓強:6×10-2Pa分子泵(德國產(chǎn))                                                                                   抽氣速率:100L/S                                                                     極限壓強:6×10-6Pa                                                               啟動時間:<2min                                                                 額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分鐘                                                              冷卻方式:風冷/水冷分子泵控制電源(德國產(chǎn))                                                                     工作電壓:110-240V                                                                    輸出功率:250W                                                                   加速時間:1min                                                                   輸出頻率:高速740HZ±10%  低速430HZ±10%真空傳感器(德國產(chǎn))                                                            工作電壓:220V 50-60HZ                                                        電阻規(guī)阻值:約85Ω                                                            自動保護(電離):>10PaKF40高真空手動隔斷閥                                                                    采用氟膠圈密封,快卸法蘭接口漏率達5×10-9Pa.m3/s                                            連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1×10-9Pa.m3/s(二).產(chǎn)品名稱:多路浮子控制供氣系統(tǒng)1.主要特點:本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用,而不會造 成大氣進入加熱爐管。 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證2.工作原理:    由氣體鋼瓶輸入兩種氣體,形成A,B兩種組份,經(jīng)過減壓閥減壓,輸出所需流量的氣體,再通過調(diào)節(jié)每一組分的體積流量,輸出預定比例關(guān)系的混合氣體,達到加熱爐所需求得氣氛。三個連接頭可連接二或三只氣體鋼瓶(只能同時啟用二個鋼瓶),如:H2/AR,H2/N2,O2/N2等。嚴禁氫氣和氧氣同時供氣保證安全!     將配比器進口的三個連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上,其中之一是氫氣專用連接頭,選擇連接好兩種氣體,按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對應高壓截止閥及三只流量計旋鈕,再旋轉(zhuǎn)減壓閥旋鈕增大氣體壓力,調(diào)節(jié)兩種氣體流量,輸出所需要的壓力和流量。     本供氣(混氣)系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng),尤其方便多種氣體的切換混合使用;氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,操作方便;每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全可靠!本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng),氣體保護燒結(jié),氣體保護退火等。3.技術(shù)參數(shù):   氣路通道:多通道(可根據(jù)客戶需求設計通道)   氣路流量控制器: 采用浮子流量計控制   標準量程:10-100ml/min 、16-160ml/min、 25-250ml/min   接口:Φ6.35,1/4''    工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體                不銹鋼管:Φ6(外)X Φ4內(nèi)   壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格    截止閥:Φ6.35   混氣罐:Φ80×140mm (三).高純氧化鋁坩堝                                                                             提供高純氧化鋁坩堝,分舟型和桶型.                                                          純度: Al2O3 > 99.5%;  Fe2O3 < 0.01%                                                密度: > 3.8 g/cm3                                                                             最高工作溫度: 1750 oC or 3180 F


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